45パーマロイ材の研磨面に及ぼすNaCl電解酸化水の粗化作用

佐藤 運海; 川久保 英樹

doi:10.11522/pscjspe.2022S.0_70

2022年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2022S.0_70

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主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2022年度精密工学会春季大会

開催地: オンライン開催

開催日: 2022/03/15 - 2022/03/17

45パーマロイ材の研磨面に及ぼすNaCl電解酸化水の粗化作用

*佐藤運海, 川久保英樹

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キーワード: 45パーマロイ材, 研磨面, NaCl電解酸化水, 粗化作用, 超音波

会議録・要旨集フリー

p. 70-71

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抄録

45パーマロイ材は飽和磁束密度および透磁率が高いなどの優れた特性を有するため，磁気デバイスに多く使用されている．磁性膜および非磁性膜などとの密着性を向上するために，45パーマロイ材の表面粗化処理を行う必要がある．本研究においては，HCl溶液と比較しながら，NaCl電解酸化水の粗化作用の解明について実験結果を行った．NaCl電解酸化水は45パーマロイ材の研磨面に対する粗化作用が優れている結果を得た．

責任著者(Corresponding author)

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