低温高密度プラズマ処理による銀ナノファズ構造の形成

抄録

我々は、スーパーキャパシタ電極や触媒として利用可能な金属表面ナノ構造を、低環境負荷なプラズマプロセスにより創成することを試みている。これまで、水素プラズマを用いたナノポーラス構造の形成に成功してきた。今回、より表面積の大きなナノファズ構造銀表面を形成するため、中圧域で生成した低温高密度Heプラズマの利用を試み、ナノ構造の支配因子を検討した。その結果を報告するとともに、形成機構について議論する。