サブミクロンオーダ切削の高精度化に関する研究（第4報）

正弦波信号の周期的誤差補正

抄録

リニアエンコーダは製造装置の測定長系として広く用いられている．しかし，リニアエンコーダからの正弦波信号を内挿すると信号周期ごとに内挿誤差が生じ，うねりとして加工表面に現れる．そこで，正弦波信号の誤差要因である振幅誤差，オフセット誤差，位相誤差に対して補正することでうねりの低減を試みる．ソフト上で理想的な正弦波に対して補正を行い，実際の正弦波信号で補正のシミュレーションし，妥当性を検討する．