高精度回転ステージを用いたフォトマスク真円度測定装置の開発

抄録

画像測定による形状測定は、非接触、高精度な測定手法として広く利用されている。画像測定による曲線形状の測定精度の検証は、円形基準器の真円度測定を行うことで評価される。しかし、基準器となるフォトマスク円形パターンの真円度を高精度に評価できる機関は、世界でも多くない。産総研では、自己校正型ロータリエンコーダを搭載した高精度回転ステージを用いた、フォトマスク真円度校正装置の開発を開始したので報告する。