小型高効率プラズマ源を有するペニング真空計の開発

抄録

近年、ボロメータなど真空で動作するデバイスの小型化の要求が高まっている。我々はデバイスを格納するセル内部の真空度を計測可能なチップスケールのペニング真空計を開発している。本報告では、小型高効率プラズマ源を有するペニング真空計を試作して、圧力に依存した放電電流を評価したので報告する。