主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2023年度精密工学会春季大会
開催地: 東京理科大学
開催日: 2023/03/14 - 2023/03/16
東京電機大 工学部 先端機械工学科
東京電機大 工学研究科 先端機械工学専攻
p. 734-735
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円筒試料の内側に円錐ミラーを入れて投影パターンを反射させ、内面円周方向に一括露光する光リソグラフィ技術を研究中である。等倍で投影する光学系の途中にハーフミラーを設置し、円筒試料内面のパターン像をディスプレイに映す観察光学系を導入した。線幅50μmの同心円パターンをレチクルに用い、レジストを塗布した内径 14mm の透明円筒試料内面の一部にライン&スペースパターンを形成できた。
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