計測データの補正による光周波数コムのロバストな変位測定

抄録

工作機械の工具先先端の誤差の測定は精密な加工のために必要不可欠である．提案する機内に光周波数コムを入れTCPの誤差を計測する手法は，1分以内での素早い計測が可能だが，計測毎に計測点が異なりロバスト性に欠ける．本研究では，計測データから計測点の差異を検出し，補正により精密な測定を行う手法を提案する．実験による検証により，提案する補正手法を用いることで，ロバストな測定が可能であることが実証された．