定量的時間分解イメージングに基づくフェムト秒レーザ加工における蓄熱過程の解明

抄録

フェムト秒レーザは広いバンドギャップを持つ材料に対しても微細で自由度の高い非熱的な加工を施すことが可能と知られている．しかし，先行研究では，高い繰り返し周波数での加工で加工形状の歪みや熱影響層が見られた．本研究の目的はフェムト秒レーザによる蓄熱メカニズムを定量的に解明することである．ポンププローブ法，干渉計，高速度カメラを組み合わせることにより，加工時の蓄熱過程を定量的に示した．