超精密超音波振動研磨に関する基礎的研究 第11報 表面粗さおよび研磨効率に関する検討

神 雅彦; 春田 響; 中野 碧; 金井 秀生

doi:10.11522/pscjspe.2024A.0_284

2024年度精密工学会秋季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2024A.0_284

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2024年度精密工学会秋季大会

開催地: 岡山大学

開催日: 2024/09/04 - 2024/09/06

超精密超音波振動研磨に関する基礎的研究第11報

表面粗さおよび研磨効率に関する検討

神雅彦, *春田響, 中野碧, 金井秀生

著者情報

キーワード: 研磨, 超音波振動, トランケーション

会議録・要旨集認証あり

p. 284-285

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抄録

砥石面の砥粒突出し高さを揃えた砥石により，超音波振動研磨を行うことにより，研磨面の表面粗さ精度が向上することが明らかにされている．前報までに，PCDラップを用いたラッピング法による砥石トランケーション法にて各種被削材に対する研磨特性に関して検討した．本報では，表面粗さ精度および研磨能率の向上法について検討した．

責任著者(Corresponding author)

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