MoS₂ナノ粒子膜を応用したガスセンサ作製と粒子膜厚の影響

抄録

本研究では，Au薄膜のトランスファプリントで作製した櫛歯電極間に，MoS₂ナノ粒子をインクジェットプリントで成膜した構造のガスセンサへの応用を試みている．本報告では，MoS₂粒子膜厚の影響について実験的に調査した．密閉容器内に試作したセンサを設置して，エタノール曝露に対する静電容量を測定したところ，平均膜厚9.2nmでは静電容量の変化はなく，一方で12.3nmでは初期値の100倍以上となった．