大気圧以上の高圧プラズマ加工装置の開発と加工特性調査

抄録

X線領域で用いられる分光器であるチャネルカット結晶は、その複雑な形状ゆえに、反射面である内壁面に既存の高精度研磨技術の適用が困難である。我々はこれまで大気圧プラズマによるエッチング手法の適用により、チャネルカット結晶内壁の無歪み化を実現してきた。本手法を、極狭チャネルを持つ結晶に対しても適用するために、雰囲気圧力の高圧化を提案し、〜10 µmの極狭ギャップ条件におけるプラズマの安定生成に成功した。