0.1μmの分解能を有する接触式工具長測定器

抄録

切削による微細加工の高精度化が求められているが、工具長の測定誤差によって工作機械の本来の精度が出せていないのが現状となっている。そこで本研究では、シーソー構造とエア圧によって信頼性の高い接触式での測定を可能にし、レーザースケールによって高い分解能で接触検知を可能にしたことで、0.1μmの分解能を持つ工具長測定器を実現した。また、この測定器によって工作機械の動作特性をサブμmレベルで把握できることを確認した。