永久磁石相互の吸引力を利用した可撓支持微動テーブル（第2報）

出力変位・軸間干渉・姿勢誤差の推定

抄録

本研究では可撓機構を用い，永久磁石の相互間隔調整による吸引力変化で位置決めする微動テーブルを提案している．前報では磁極間隔と吸引力の関係を校正する装置を製作し，その結果と可撓機構に適用した場合の変位予測を示した．今回は可撓機構を構成するビームを一体構造またはボルト締結した場合において，可撓機構単体に加えて機構をベースに取り付けた試験装置としての出力変位および，軸間干渉や姿勢誤差をFEM解析で推定した．