パルスエネルギ変調フェムト秒レーザ加工法による石英ガラスへのクラックフリー微細穴あけ加工

抄録

近年超短パルスレーザを用いた微細穴あけ加工が注目されている．しかし，石英ガラスのような硬脆材料を加工する際には，加工穴周辺にクラックが発生する問題がある．私たちはこれまでに，応力波によるクラック発生メカニズムを解明してきた．この知見に基づき，パルスエネルギ変調フェムト秒レーザ穴あけ加工法を提案する．本手法を用いることで，石英ガラスへのクラックフリーな微細穴あけ加工を実現した．