主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2024年度精密工学会春季大会
開催地: 東京大学
開催日: 2024/03/12 - 2024/03/14
産総研 デバイス技術研究部門
p. 628-629
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ダイヤモンドの微細加工として、炭素の固溶限の高いNiを用いた新手法を開発した。Niの金型を1000℃で加圧することで、ダイヤモンドの炭素が固溶してエッチングされることを示した。
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