大電力パルスマグネトロンスパッタリングSiC薄膜のレーザ改質による潤滑性の向上

佐藤 智輝; 稲葉 梨々花; 徳永 大二郎; 青野 祐子; 平田 敦

doi:10.11522/pscjspe.2024S.0_671

2024年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2024S.0_671

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主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2024年度精密工学会春季大会

開催地: 東京大学

開催日: 2024/03/12 - 2024/03/14

大電力パルスマグネトロンスパッタリングSiC薄膜のレーザ改質による潤滑性の向上

*佐藤智輝, 稲葉梨々花, 徳永大二郎, 青野祐子, 平田敦

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キーワード: スパッタリング, 炭化ケイ素, 炭化物由来炭素, レーザ改質

会議録・要旨集フリー

p. 671

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抄録

機械部品用コーティングとして期待されるSiC薄膜の潤滑性向上のため，大電力パルスマグネトロンスパッタリングにて作製したSiC薄膜の表面にレーザ改質によって炭化物由来カーボン層を形成した．結晶性の異なるSiC薄膜に対し，真空中でCO₂レーザを照射することでカーボン層を生成し，その潤滑性を評価した結果，カーボン層によるSiC薄膜の潤滑性の向上を確認し，SiC薄膜の結晶性とカーボン層の潤滑性の関係を検討した．

責任著者(Corresponding author)

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