励起光を用いた全面一括数値制御プラズマ加工に関する基礎検討

抄録

結晶基板厚さを高精度に均一化する方法として数値制御プラズマ化学気化加工（NC-PCVM）の適用を提案してきた。NC-PCVMでは送り速度を制御しながら試料全面を走査するため、加工に長時間を要することが課題であった。そこで、本研究では励起光を用いてプラズマのON/OFFを制御する新たな全面一括NC-PCVMを提案し、基礎検討の結果、励起光を照射したときのみプラズマを生成可能であることを明らかにした。