化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第37回秋季大会
セッションID: J304
会議情報

主催: 社団法人　化学工学会

シンポジウム ＜反応工学の展開＞
Ru-CVDの反応解析と埋め込み性の予測
*川上 雅人, 河野 由美子, 有馬 進, 松沢 興明, 沢田 郁夫
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キーワード: Ru-CVD, Ru(EtCp)2, Reaction model
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© 2005 社団法人　化学工学会
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