化学工学会 研究発表講演要旨集
化学工学会第38回秋季大会
セッションID: H308
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シンポジウム <膜分離・吸着用多孔質材料の最近の研究開発動向>
CVD法で調製したシリカ薄膜の気体分離特性
*荒木 貞夫毛利 憲人吉満 裕一三宅 義和
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キーワード: CVD, silica membrane, gas permeation
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© 2006 社団法人 化学工学会
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