化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第72年会
セッションID: E209
会議情報

主催: 社団法人　化学工学会

超臨界流体
超臨界流体中での酸化還元反応を利用した新規Cu薄膜作製プロセスの構築
*大久保 智弘, 上嶋 健嗣, 杉山 正和, 霜垣 幸浩
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キーワード: supercritical, deposition, Cu
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© 2007 社団法人　化学工学会
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