化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第72年会
セッションID: R115
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主催: 社団法人　化学工学会

反応工学
熱分解炭素CVDにおける気相反応の詳細化学反応速度モデル
*則永 行庸, 三枝 直路, 林 潤一郎, Deutschmann Olaf
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キーワード: carbon, CVD, chemical kinetics
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© 2007 社団法人　化学工学会
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