化学工学会 研究発表講演要旨集
化学工学会第72年会
セッションID: R116
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反応工学
チタン酸ストロンチウム薄膜の熱CVD
*秋山 泰伸村上 博史下中 克也
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キーワード: CVD, Strontium Titanate, Thin film
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© 2007 社団法人 化学工学会
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