化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第72年会
セッションID: R120
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主催: 社団法人　化学工学会

反応工学
GaAs-MOVPEにおける表面吸着層のin situ観察および解析
*出浦 桃子, 杉山 正和, 中野 貴之, 中野 義昭, 霜垣 幸浩
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キーワード: MOVPE, GaAs, surface adsorption layer
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© 2007 社団法人　化学工学会
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