化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第39回秋季大会
セッションID: L306
会議情報

主催: 社団法人　化学工学会

シンポジウム ＜CVD・ドライプロセス＞ (L201-L209, L213-L219, L301-L309, L313-L321)
MOVPEにおける表面反応速度と表面原子構造の関係
*杉山 正和, 出浦 桃子, 宋 海政, 王 云鵬, 中野 義昭, 霜垣 幸浩
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キーワード: MOVPE, surface reaction rate, surface reconstruction
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© 2007 社団法人　化学工学会
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