化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第73年会
セッションID: E305
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主催: 社団法人　化学工学会

反応工学
COを炭素源とするマイクロ波プラズマCVDによるカーボンナノチューブの低温合成
*森 伸介, 鈴木 正昭
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キーワード: plasma enhanced CVD, microwave plasma, carbon nanotube
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© 2008 社団法人　化学工学会
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