化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第73年会
セッションID: E306
会議情報

主催: 社団法人　化学工学会

反応工学
チタンテトライソプロポキシドを原料としたチタン酸ストロンチウム薄膜の熱CVD
*川島 知至, 佐藤 晃, 浅川 拓, 鈴木 健太, 田中 正恭, 秋山 泰伸
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キーワード: Strontium Titanate, titanium tetraisopropoxide, CVD
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© 2008 社団法人　化学工学会
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