化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第73年会
セッションID: E307
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主催: 社団法人　化学工学会

反応工学
薄膜ZMC法によるFeSi2薄膜の結晶相の制御および物性評価
*井上 建, 寺澤 真輔, 伊原 学
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キーワード: solar cell, Iron disilicide, crystallization
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