化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第73年会
セッションID: O309
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主催: 社団法人　化学工学会

材料・界面
流通式CVD法による酸化チタン薄膜の創製
*浅野 裕之, 堀河 俊英, 加藤 雅裕, 冨田 太平
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キーワード: chemical vapor deposition, thin film, titanium dioxide
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© 2008 社団法人　化学工学会
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