化学工学会 研究発表講演要旨集
化学工学会第40回秋季大会
セッションID: T209
会議情報

T204-T209, T213-T221, T301-T308, T313-T326
In-situ赤外分光分析を用いた熱分解炭素CVD反応過程の推定
河瀬 元明*伊藤 敬文三浦 孝一
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キーワード: pyrocarbon, CVD, infrared absorption
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© 2008 社団法人 化学工学会
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