化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第74年会
セッションID: A116
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主催: 社団法人　化学工学会

反応工学
MOCVD法によるZnO薄膜製造し、関与する中間体の物理化学的特性
*金 煕濬, Angelito Velasco
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キーワード: MOCVD, 中間体, 中間体特性
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© 2009 社団法人　化学工学会
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