化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第74年会
セッションID: A117
会議情報

主催: 社団法人　化学工学会

反応工学
コールドウォールおよびホットウォール型熱CVD装置の反応特性
*佐藤 晃, 佐野 智紀, 西村 敏晴, 秋山 泰伸
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キーワード: CVD, Cold-wall type reactor, Oxide thin film
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© 2009 社団法人　化学工学会
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