化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第74年会
セッションID: K307
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主催: 社団法人　化学工学会

超臨界流体
超臨界流体を用いた微細孔へのCu選択埋め込みプロセスの構築
*百瀬 健, 杉山 正和, 霜垣 幸浩
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キーワード: Selective deposition, Gap-filling, Supercritical fluid
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© 2009 社団法人　化学工学会
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