化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第74年会
セッションID: A114
会議情報

主催: 社団法人　化学工学会

反応工学
Si上InGaAsの微小領域選択MOVPEにおける横方向成長促進と均一性向上
*出浦 桃子, 星井 拓也, 竹中 充, 高木 信一, 中野 義昭, 杉山 正和
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キーワード: MOVPE, InGaAs, heteroepitaxy
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© 2009 社団法人　化学工学会
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