化学工学会 研究発表講演要旨集
化学工学会第41回秋季大会
セッションID: A104
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シンポジウム <CVD・ドライプロセスシンポジウム -デバイス構造・機能制御の反応工学->
InGaN/GaN選択MOVPEによる可視光発光波長シフトのメカニズム
*杉山 正和塩田 倫也富田 祐貴霜垣 幸浩中野 義昭
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キーワード: MOVPE, InGaN, 選択成長
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© 2009 社団法人 化学工学会
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