化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第41回秋季大会
セッションID: A117
会議情報

主催: 社団法人　化学工学会

シンポジウム ＜CVD・ドライプロセスシンポジウム　－デバイス構造・機能制御の反応工学－＞
AlPおよびH2Sを用いたGaAs表面のMOVPE反応炉内in situパッシベーション
*寺田 雄紀, 出浦 桃子, 霜垣 幸浩, 杉山 正和, 中野 義昭
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キーワード: MOVPE, passivation
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© 2009 社団法人　化学工学会
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