化学工学会 研究発表講演要旨集
化学工学会第41回秋季大会
セッションID: A206
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シンポジウム <CVD・ドライプロセスシンポジウム -デバイス構造・機能制御の反応工学->
単層カーボンナノチューブの垂直配向成長におけるAl2O3下地の効果
*杉目 恒志野田 優
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© 2009 社団法人 化学工学会
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