化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第41回秋季大会
セッションID: Y202
会議情報

主催: 社団法人　化学工学会

シンポジウム ＜環境部会シンポジウム＞
半導体プロセスからの排ガス中に含まれるフッ素の固定化
*荘所 正, 森澤 誠, 小池 国彦, 川島 達也, 内海 友佑, 安井 晋示
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キーワード: fluorine, dry-fixation
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© 2009 社団法人　化学工学会
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