化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第42回秋季大会
セッションID: B123
会議情報

主催: 化学工学会

REX/JGGを用いた反応機構自動解析システムの開発と評価
*高橋 崇宏, 中井 寛之, 金原 宏樹, 福井 紀之, 江間 義則
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キーワード: REX/JGG, chemical vapor deposition, reaction model
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© 2010 社団法人　化学工学会
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