化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第42回秋季大会
セッションID: B124
会議情報

主催: 化学工学会

遺伝的アルゴリズムに基づくCVDの成膜速度分布計算アルゴリズムに関する研究
*高橋 崇宏, 高橋 和也, 河村 健, 長谷部 恭弘, 稲垣 妙香, 江間 義則
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キーワード: genetic algorithms, chemical vapor deposition, growth rate
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© 2010 社団法人　化学工学会
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