化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第42回秋季大会
セッションID: N315
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主催: 化学工学会

超臨界流体を用いたSiO2製膜における埋め込み特性評価
*山田 英雄, 百瀬 健, 北村 康宏, 服部 有, 杉山 正和, 霜垣 幸浩
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キーワード: supercritical fluid, deposition, SiO2
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