化学工学会 研究発表講演要旨集
化学工学会第42回秋季大会
セッションID: N321
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成長領域狭窄化選択MOVPEによるSi上InGaAsの高横/縦比成長
*近藤 佳幸出浦 桃子竹中 充高木 信一中野 義昭杉山 正和
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キーワード: InGaAs, MOVPE, selctive area growth
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© 2010 社団法人 化学工学会
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