生産研究
Online ISSN : 1881-2058
Print ISSN : 0037-105X
ISSN-L : 0037-105X
研究速報
ナノメートルオーダの機械振動子の作製
佐谷 大輔福島 公威年吉 洋橋口 原藤田 博之川勝 英樹
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2000 年 52 巻 9 号 p. 426-429

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© 2000 東京大学生産技術研究所
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