生産研究
Online ISSN : 1881-2058
Print ISSN : 0037-105X
ISSN-L : 0037-105X
研究速報
免震精密生産施設のための圧電アクチュエータを用いた総合的アクティブ微振動制御システム
―第1報, スマート構造による内生微振動の制御―
嶋〓 守藤田 〓史橋本 嘉之吉岡 宏和北原 隆小川 智浩
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2004 年 56 巻 6 号 p. 514-517

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© 2004 東京大学生産技術研究所
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