生産研究
Online ISSN : 1881-2058
Print ISSN : 0037-105X
ISSN-L : 0037-105X
研究速報
ACサーボモータを用いた単結晶引上げ装置用アクティブ・パッシブ切換え型免震装置
（第1報：振動制御実験）
古川 裕紀, 藤田 隆史, 鎌田 崇義, 晦日 英明
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2005 年 57 巻 6 号 p. 526-529

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© 2005 東京大学生産技術研究所
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