表面技術
Online ISSN : 1884-3409
Print ISSN : 0915-1869
ISSN-L : 0915-1869
研究論文
熱フィラメントCVD法による鉄基板上へのダイヤモンドの合成
石川 豊佐々木 豊
著者情報
ジャーナル フリー

2003 年 54 巻 10 号 p. 689-692

詳細
抄録
Diamond synthesis onto iron substrate was tried by hot-filament chemical vapor deposition (HFCVD). Diamond can be synthesized at an atmospheric pressure by spraying a source gas onto an iron substrate with a nozzle. Diamond crystal grows to a size of about 20μm in 180 min. Diamond synthesized by the present method contains only a small amount of non-diamond carbon. Diamond synthesis on a silicon wafer is also enhanced by spraying a source gas onto a substrate like an iron case.
著者関連情報
© 2003 一般社団法人 表面技術協会
前の記事 次の記事
feedback
Top