表面技術
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技術論文
AlN/Al/AlNナノ積層膜の作製と光学的特性
小川 倉一近藤 匡俊清水 正美李 普鉉安田 政智
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2013 年 64 巻 5 号 p. 311-314

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抄録

Transparent heat-mirror insulation films comprising a multilayer of AlN/Al/AlN were fabricated using new magnetic hollow-cathode sputtering. Electrical and optical properties of multilayer films were examined. Visible transmission of 78 % (at 0.5 μm) and infrared transmission of 30 % (at 1.0 μm) were obtained for a three-layer film of AlN (30 nm) / N-doping Al (9 nm) /AlN(30 nm)on PET films.

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© 2013 一般社団法人 表面技術協会
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