表面近傍の構造に対する小角散乱測定

表面技術

Online ISSN : 1884-3409
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ISSN-L : 0915-1869

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表面近傍の構造に対する小角散乱測定

奥田浩司

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キーワード: Grazing-Incidence Small-Angle X-ray Scattering(GISAXS), Small-Angle X-ray Scattering(SAXS), Nanostructured Thin Films

ジャーナルフリー

2015 年 66 巻 12 号 p. 648-652

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.66.648

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