表面技術
Online ISSN : 1884-3409
Print ISSN : 0915-1869
ISSN-L : 0915-1869
トピックス
イオン化物理蒸着法における大電力パルスマグネトロンスパッタリング（HiPIMS）技術の特有性
清水 徹英
著者情報
キーワード: HiPIMS, Pulse Waveforms, Gas Rarefaction
ジャーナル フリー

2017 年 68 巻 12 号 p. 712-717

詳細
PDFをダウンロード (1840K)
メタデータをダウンロード RIS形式

(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)

BIB TEX形式

(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)

テキスト
メタデータのダウンロード方法
発行機関連絡先
記事の1ページ目
著者関連情報
© 2017 一般社団法人 表面技術協会
前の記事 次の記事
お気に入り & アラート

閲覧履歴
前身誌

金属表面技術

金属表面技術 現場パンフレット

実務表面技術

このページを共有する
feedback
 Top