表面技術
Online ISSN : 1884-3409
Print ISSN : 0915-1869
ISSN-L : 0915-1869
解説
スマートアクチュエータ材料成膜と微細加工のMEMSへの応用
峯田 貴
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キーワード: Shape Memory Alloy, Magneto-Strictive Alloy, Film Deposition, Micro-Machining, MEMS
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2017 年 68 巻 7 号 p. 373-378

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