エアロゾルデポジション法による圧電厚膜形成技術と振動発電デバイスへの応用

表面技術

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エアロゾルデポジション法による圧電厚膜形成技術と振動発電デバイスへの応用

川上祥広

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キーワード: Aerosol Deposition, Lead-Free Material, Piezoelectric Thick Film, Stainless Steel Substrate, Energy Harvesting

ジャーナルフリー

2018 年 69 巻 11 号 p. 500-506

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.69.500

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